1.为什么EBSD需要进行制样？

2.什么样的EBSD样品满足要求？

（1） 表面平整、清洁、无残余应力
    通过磨抛得到平整的表面，去除残余应力可以选择离子抛光、化学抛光等方法。

（2）导电性良好：
   若导电性不好，会束缚电荷，导致背散射电子信号变差，可以采用喷金或者喷碳的方法提高导电性

（3）适合的形状及尺寸
    长*宽*厚<12mm*12mm*1.5mm

（4）样品制备常见问题
    得不到较好的菊池花样、表面凹凸不平、导电性差

（1）机械抛光：振动抛光

优点：方便，快捷，
缺点：试样表面破坏，存在残余应力

优点：简单、方便、最常用、对抛光工艺要求不高
缺点：针对不同金属选择不同的化学抛光液.

优点：方便、快捷、可重复、最常用，无机械变形、可自动化
缺点：抛光工艺（抛光液配方、参数）摸索需要较长时间、抛光不均匀或者形成凹坑、边缘容易被腐蚀、抛光区域有限、电解液有毒

想要了解更多，请查看原文链接：

https://wenku.baidu.com/view/71119dfe534de518964bcf84b9d528ea81c72fb9.html