台阶仪属于接触式表面形貌测量仪器 。根据使用传感器的不同，接触式台阶测量可以分为电感式、压电式和光电式3种。其测量原理是:当触针沿被测表面轻轻滑过时，由于表面有微小的峰谷使触针在滑行的同时，还沿峰谷作上下运动。触针的运动情况就反映了表面轮廓的情况。传感器输出的电信号经测量电桥后，输出与触针偏离平衡位置的位移成正比的调幅信号。经放大与相敏整流后，可将位移信号从调幅信号中解调出来，得到放大了的与触针位移成正比的缓慢变化信号。再经噪音滤波器、波度滤波器进一步滤去调制频率与外界干扰信号以及波度等因素对粗糙度测量的影响。

台阶仪测量精度较高、量程大、测量结果稳定可靠、重复性好，此外它还可以作为其它形貌测量技术的比对。但是也有其难以克服的缺点:

1、由于测头与测件相接触造成的测头变形和磨损，使仪器在使用一段时间后测量精度下降;

2、测头为了保证耐磨性和刚性而不能做得非常细小尖锐，如果测头头部曲率半径大于被测表面上微观凹坑的半径必然造成该处测量数据的偏差;

3、为使测头不至于很快磨损，测头的硬度一般都很高，因此不适于精密零件及软质表面的测量。

米格实验室可以提供的服务：

仪器型号：klatenco公司的p7

精度：1纳米

样品要求：4寸以下

测试结果：一点一值

测试范围：3nm到几微米

测试结果：一点一值，并且可以得到如下直观图片