功能特色:
功能特色:样品尺寸:3英寸 每炉可放:1片3英寸或者相等面积的样品 刻蚀种类:薄膜等固体或者光刻胶 刻蚀速率:1 - 10纳米/分钟 选择比:3 离子束角度:可调节(0-30度)
功能特色:高分辨透射电镜(HRTEM) 电子衍射(ED) HAADF-STEM ABF-STEM EDS