ABM接触曝光机:配备双波段光源（365nm/400nm），可执行3英寸和4英寸晶圆接触曝光。极限分辨率：1μm片内均匀性：≤1% over 50mm（曝光中心点50mm有效范围内）≤3% over 100mm（曝光中心点100mm有效范围内）正面对准精度误差±1mm；X/Y轴方向可移动总行程±12.5mm；