服务详情
FIB-SEM-Raman-TOF SIMS联用
￥面议
周期：7个工作日
设备：FIB-SEM，Raman，TOF-SIMS
该系统在FIB-SEM系统的基础上配备了拉曼（Raman）、飞行时间二次离子质谱（TOF-SIMS）、能谱仪（EDS）、背散射电子衍射仪（EBSD）、阴极荧光（CL）、扫描透射探测器（STEM）以及多种加工、分析型附件，能够更加全面地对样品进行多角度原位分析
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样品要求
样品干燥，导电性好，热稳定性好，无放射性
服务描述
技术参数
FIB-SEM
二次电子分辨率：0.9nm@15kV；1.4nm@1kV
聚焦离子束：分辨率：< 2.5nm@30kV
探针电流：1pA - 100nA
放大倍率：2 × -2000000 ×
TOF-SIMS
元素检测下限：5ppm
空间分辨率：水平方向40nm；垂直方向>3nm
质量数范围：1-2500
Raman
激光波长：532nm、785nm
共聚焦分辨率：XY方向360nm；Z方向2000nm
拉曼光谱范围：95-4000cm-1（532激光）
光谱分辨率：优于1.5cm-1
EDS
170mm²超大面积活区
能量分辨率：Mn Ka保证优于127eV
元素分析范围：Be4-Cf98
EBSD
在线最高解析标定速度优于3000点/秒； 最小工作电流100pA，最小工作电压5KV;
其他附件：纳米机械手、CL、STEM
案列展示
