块体,薄膜有大于5*5mm的平整面,最大8寸
粉末覆盖20mmx20mmx0.5mm的凹槽
服务项:
θ-2θ扫描
摇摆曲线
掠入射XRD(GI-XRD)
倒易空间
注意事项:
采集深度1-3µm
无法识别非晶材料
检测限1atom%
案例一:XRD(θ-2θ扫描)
案例二:XRD-氧化镓(020)摇摆曲线
案例三:掠入射XRD(GI-XRD)
残余应力测试(XRD测试残余应力)
掠入射XRD/GIXRD
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