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平坦度测试仪 Figure 1 Tropel FM100

技术参数：
1、精度：50nm； 2、重复性：15nm； 3、分辨率：5nm； 4、测试晶圆尺寸：直径2in—4in； 5、测试材料：Sapphire, GaAs, SiC, Si, LT, Ln, Glass and other materials； 6、测量参数：Bow, Warp, TTV , LTV ；
功能特色：
样品要求：
应用领域：
收费标准：
价格   面议

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