扫描探针显微镜（Scanning Probe Microscope） Dimension Icon
- 技术参数：
- 功能特色：
- 基本特性: 仪器噪声：闭环XY噪声 ≤ 0.15 nm， 开环XY噪声 ≤ 0.10 nm。闭环Z向噪声35 pm RMS。 控制器：Nanoscope V，可同时采集8个通道数据，精度达到5120 × 5120。 扫描范围： 90 µm × 90 µm × 10 µm。 样品尺寸：直径 ≤ 210 mm， 厚度 ≤ 15 mm。 基本模式：空气及液下的轻敲模式（Tapping）、接触模式（Contact）、扭转共振模式（TRmode）及智能扫描模式（ScanAsyst）。 扩展模式：静电力显微镜（EFM），表面电势测量（SEPM），磁力显微镜（MFM），侧向力（横向力/摩擦力）显微镜（LFM），相位成像（Phase Imaging），加热/冷却（Heater/Cooler），纳米刻蚀（Nanoman）。
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