场发射扫描电子显微镜（FESEM） ULTRA 55
- 技术参数：
- 功能特色：
- 基本特性: 探头：包括EsB（能量选择背散射电子探测器）、AsB（角度选择背散射电子探测器）、SE（样品室二次电子探测器）和In-lens SE（镜筒内安装的二次电子探测器）以及EDS能谱分析。 加速电压：0.02 - 30 kV。 样品室尺寸：内部直径330mm，高度270mm。 样品台：5轴电动样品台。 行程： X = 130 mm Y = 130 mm Z = 50 mm T = -3º - 70º R = 360º 放大倍数： 12 – 1,000,000× (SE) 100 – 1,000,000× (BSE) 分辨率(在最佳工作距离): 0.8 nm在30 kV (STEM 模式) 1.0 nm在15 kV 1.7 nm在1 kV
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