激光椭偏仪 SE500

技术参数:
功能特色:
基本特性: 反射与椭偏组合测量。 反射测量波长范围450 nm到920 nm; 椭偏测量波长:632.8nm; 标准光斑直径≥1mm; 膜厚测量范围1nm~10 um; 角度调整范围400-900; 样品台直径≥6",高度及水平可调。
样品要求:
应用领域:
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