快速退火炉 RTP 丹阳市电炉厂有限公司
- 技术参数：
- 加热方式：红外卤素钨灯，600W卤灯数量：最快升温速率：80℃/Second； 最快降温速率：60 秒(1000℃ →400℃)；最高温度：1200℃；温度精度：+/- 1℃ 样品尺寸：4 英寸、3 英寸；工作环境：真空、引入气体(N2/Ar/O2 等)、空气
- 功能特色：
- 1.多重灯管设计以保证温度均匀 2.实时闭环温度控制方式 3.实时灯丝电流监测以保证工艺稳定可靠性 4.安全监测，包括热偶测温检测、过热检测、灯丝电流检测 5.中英文用户操作界面，使用非常简便 6.软件全自动控制工艺过程，操作简单，包括用户分级使用权限管理 7.菜单编辑、工艺数据记录/查找、报警/报错、用户状态等功能
- 样品要求：
- 应用领域：
- 离子注入后退火/活化 金属合金化，砷化稼电极合金化 磷硅酸盐玻璃/硼磷玻璃回流 沟道氧化 栅介质形成 多晶硅退火 钛硅化物/硅化物/氮化物退火铜铟镓硒光伏应用中的硒沉积
- 收费标准：
- 价格 面议
