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接触式轮廓仪 Nano Map 500LS Aep technology

技术参数：
"垂直分辨率：0.1nm 台阶高度重复性：＜0.54nm 精细模式测量高度范围：5 μm 大范围模式测量高度范围：5 μm XY方向扫描分辨率： 0.1 μm XY定位重现性： 0.2 μm 扫描速度：10-50 μm/sec "
功能特色：
台阶高度、粗糙度
样品要求：
应用领域：
材料、半导体、机械制造领域
收费标准：
价格   面议

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