纳米压印机 HEX-01 德国Zwick/Roell

技术参数:
基片最大尺寸:直径6英寸;2、 热压室真空度:≤1mbar;热压时基片/模具加热温度:最大320℃;最大压力:20KN;热压室高度:20mm;UV波长:365nm;UV最大功率:1.5mw/cm2;UV均匀度:5%;UV照射直径:150mm;采用UV时最大加热温度:100℃;采用UV时最大压力:10KN。
功能特色:
纳米压印系统采用热压和紫外光固化的图形成型方法,可进行微米级至纳米级的图形复制,实现图形的廉价、快速复制。
样品要求:
小于6英寸。
应用领域:
收费标准:
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