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单面对准紫外光刻机 MJB4 韩国MIDAS公司

技术参数：
350WHg灯光源，灯光均匀度小于3%；曝光最小尺寸为0.7μ；套刻精度1μ；单面曝光；掩模版尺寸为3-5英寸；基片尺寸最大为4英寸，并可曝光不规则碎片。
功能特色：
适用于所有标准化的光刻应用。该设备稳定性、重复性高，可加工微细尺寸图形；采用分离视场显微镜，显微图案可通过CCD采集后于显示器上显示，便于操作。
样品要求：
小于4英寸。
应用领域：
收费标准：
价格   面议

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