非球面轮廓仪 M112-5228 Form Talysurf PGI Optics
- 技术参数：
- 该系统由高精度回转工作台、电动Y轴工作台、高精度水平驱动单元以及高分辨率大量程传感器组成，实现衬底部件表面的二维或三维数据采样，与设计数据进行误差分析，实现面型误差的分析和测量。主要技术指标：1）X方向传动长度：≥200mm2）X方向直线度：≤0.11µm3）Y方向传动长度：≥100mm4）回转定位精度：≤0.001 deg5）回转速度：≥65deg/s6）传感器测量范围：≥14mm7）传感器分辨率：≤0.8nm8）系统测量精度：Pv≤0.1µm
- 功能特色：
- 非球面轮廓仪专门用于各类光学元件的形状误差测量和粗糙度分析，包括: 平面、球面、非球面、自由曲面以及衍射光学表面轮廓测量。主要功能如下：（1）形状误差测量，包括非球面形状、直线形状和圆弧形状误差测量；（2）轮廓测量，包括半径和角度分析；（3）表面粗糙度测量，该设备具有与单点金刚石车床接口能力，可以将测量数据应用于加工设备的优化处理。
- 样品要求：
- 应用领域：
- 收费标准：
- 价格 面议
