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接触接近式曝光机

技术参数：
能够兼容6英寸以下基片的曝光，包括碎片曝光。光源功率从250W到1000W不等。曝光光强：≤50mW/cm²。曝光时间设置范围：0S~999.9S
功能特色：
样品要求：
应用领域：
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