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光学表面分析仪-CS10-KLA-tencor-美国
CS10-KLA-tencor
光学表面分析仪-CS10-KLA-tencor-美国 CS10-KLA-tencor 美国
技术参数:
测量范围: 2~8英寸的单晶片以及外延片 小颗粒灵敏度:80nm
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