目前，中国是世界上最大的集成电路消费市场，对材料的需求量不言而喻。近日，特种化学品和先进材料解决方案的领军企业Entegris（应特格）中国技术中心盛大开幕，由此加强了在中国当地的分析检测和问题解决能力。

Entegris成立于1966年，总部位于美国马萨诸塞州Billerica，在整个全球大概有4千名员工，目前已拥有近3千个专利。公司有80%-90%的业务在半导体行业，其次是在生命科技领域。Entegris的主要产品以及解决方案包括了污染控制、先进材料的处理，以及先进材料的生产。

在材料科学以及分析方面，Entegris主要关注于这几个方面：分离科学，表面科学以及污染分析源。在“微污染控制”方面，有非常先进的气体、液体过滤以及提升纯净度的解决方案。另外还有特别针对先进晶圆制造的空气分子污染控制（AMC）解决方案。关于先进材料的解决方案，包括了合成材料，包括一些高精度的气体混合物、特种的覆膜，还有一些表面的准备材料、净化材料，以及液体、气体的储存和运输。最后，在“卓越制造”这些方面Entegris提供了非常先进的质量控制，并且达到了全球制造的生产覆盖程度。

材料商角色的转变

Entegris高级副总裁及首席技术官Jim O’Neill指出，目前半导体生产面临的最大挑战就是对污染的控制，从28纳米到7纳米的逻辑芯片，金属杂质的密度已经下降了1000%，对于晶圆致命颗粒的尺寸也缩小了近400%。因此一旦控制不好污染，良率就很难提升。

当然这也为半导体制造商带来了机遇，Jim表示，对于3D NAND晶圆厂而言，1%的良率提高可能意味着每年1.1亿美元的净利润；而对于尖端的逻辑晶圆厂而言，1%的良率提升意味着1.5亿美元的净利润。

机遇与风险并生，芯片从原材料到运输到客户手中是一个漫长的供应链过程，这其中往往几经周折，产生污染的概率非常大。Jim称，作为材料厂商，从原材料到生产、包装、运输，再到进工厂、进设备、到产品，整个过程全部控制。

在技术方面，借助专用化学品和工程材料、微污染物控制、运输包装方案，Entegris可提供广泛的解决方案组合。以晶圆制造为例，污染可能发生在晶圆制造过程中的多个环节，进而影响良率，Entegris可以为此提供过滤和纯化方面的产品。

Jim表示，以前往往由Fab（半导体制造）厂商定制良率参数，再由材料商去控制污染参数，现在发生了改变。就拿汽车领域来说，自动驾驶的车辆对于可靠度的要求是史无前例的，下游用户现在已经意识到全供应链品质控制的重要性。因此Entegris不再仅仅关注上游厂商，而是更近一步与整车厂等下游厂商沟通，讨论车辆的可靠度等问题，作为一个材料厂商，Entegris不断改进对污染和缺陷的控制，改变在供应链里面的工作方式。

老将的中国生意经

Entegris在中国市场已有25年经营历史，对此，Entegris执行副总裁及首席运营官Todd Edlund表示，中国是Entegris全球近年来增速最快的地区，即使在全球半导体行业不景气的情况下，中国市场仍增长明显。Todd谈到，在没有建立中国技术中心之前，当产品出现故障时，要运到国外技术中心进行检测，这其中往往需要几周时间，而该技术中心建成以后，这过程就可以缩短到按天计算。

目前Entegris中国技术中心设有4间专项实验室，专注于为半导体及商业电子行业的客户解决广泛的技术难题，提供综合解决方案。这4间实验室分别是：微污染物控制应用实验室、无尘室/先进材料处理应用实验室、SPI应用实验室、分析和计量实验室。据Entegris中国技术中心技术总监江平称，该技术中心的检测标准与其他海外标准一致，采购的设备基本都是最先进的。

目前中国市场在先进制程方面有很多领先的尝试和举措，Entegris投资建设中国中心，能够帮助中国制造商提升产能。Entegris中国总经理张凯翔博士表示，在此期间，Entegris通过与博纯合作，成为全球首家在中国本地化生产特殊气体产品的国际材料公司。博纯之后，与湖北晶星签订协议，合作生产Entegris高纯度沉积产品（3D NAND关键材料）,增加中国市场供货量。

今年9月，Entegris宣布已完成对安诺过滤的收购。安诺已成为Entegris的子公司，隶属于微污染控制部门。安诺总部位于杭州国家级富阳经济技术开发区。安诺不仅为Entegris的全球产品组合增添了新的薄膜技术和过滤产品，也为其在亚洲地区制造过滤产品提供了额外的基础设施。

但这还只是一个开始，Todd在最后表示，Entegris会在中国寻找更多的业务增长点，并判断是否需要在本土进行生产。在他看来，Entegris一定会在未来数年继续提升在中国本土的产能。

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