日前,外媒曾经报导,因为受限于中美贸易摩擦的情势,全球最大半导体光刻设备供应商ASML停止了对中芯国际的极紫外光刻设备(EUV)的出货。此事不但造成业界震撼,还导致中芯国际的股价重挫。
但ASML随即发出声明表示,公司并非停止出口设备给中芯国际,而是在等出口许可中。ASML还在声明中指出,我们对客户一视同仁,并在出口许可证到期前向荷兰政府提出了申请。虽然EUV设备的最大买家是台积电和三星,但ASML却也不会忽视未来会发展的中国市场。
中芯国际董事长周子学也在日前指出,目前ASML的EUV出口许可问题已经解决,但仍将严密观察ASML是否将很快实际供应EUV设备。
根据韩国媒体《ETnews》的报导指出,中芯国际董事长周子学在访问韩国的过程中表示,中芯国际目前正在进行EUV设备进口的文书作业,对于进口EUV设备的许可问题现在已经解决,这也使得先进制程的研发也依照计划进行中。
周子学强调,该情况显示在目前的情况下,中芯国际发展先进制程的计划并没有受到任何的影响。此外,中芯国际称,其进口ASML的EUV设备就是用在7纳米制程的研发上,已缩小与领先厂商间的差距。
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