传统的冷场发射技术稳定性差，亮度低，无法保证透射电镜的使用需求。日本电子株式会社开发的冷场发射技术解决了这些问题，并把该技术加入到最新球差校正透射电镜ARM 200F序列里。使ARM 200F在保证亚纳米分辨率0.078nm的同时，能量分辨率提高到0.3eV，极大增强了原子级观察和原子级分析能力。现在米格实验室新增的这台Grand-ARM 200F配置更加高端，堪称一件分析“利器”。

冷场发射球差矫正透射电镜

主要特点：

1）具有原子间图像分辨率（atom-by-atom imaging resolution）和无与伦比的原子间空间分辨率
2）标配照明系统的球差校正器，STEM分辨率高达 0.078 nm, 为世界顶级的商业化透射电镜，同时使其具有无与伦比的分析功能

3）极强的抗干扰能力和超高稳定性，采用了多种新技术和设计确保实现原子级的分辨率和分析能力
4）可以选配成像系统的球差校正器，点分辨率可以提高到 0.11 nm
5）操作极为简单，克服了球差校正透射电镜难于操作的难题

基础参数：

1.分辨率：STEM  <0.078 nm

                  TEM <0.11 nm

2.放大倍数：STEM 100 to 150,000,000x 
                     TEM50 to 2,000,000x 

3.加速电压： 30,40,60,80,200 kV
4.配置：冷场发射电子枪（Cold-FEG）；球差校正器double Cs Correctors (Image + Probe) ；高阶球差校正器（ASCOR）

详细性能参数请看下图

案例展示

氮化硼单分子层在60kV加速电压下的中角环形暗场像

高角环行暗场像HAADF&球差校正环形明场像ABF

Sr，Ti，Ru单原子的EDS mapping