本文来源:中信证券
靶材是用溅射法沉积薄膜的原材料。靶材主要由靶胚和背板组成。其中靶胚是靶材工作的核心功能部分,其进行溅射形膜的主要原理是靶胚作为溅射源受高速荷能粒子轰击发生溅射,溅射产物沉积在基片上形成薄膜。
溅射靶材的下游应用主要包括平板显示器、光伏电池、记录媒体、半导体等领域。