原子力显微镜（Atomic Force Microscopy，简称AFM）利用微悬臂感受和放大悬臂上尖细探针与受测样品原子之间的作用力，从而达到检测的目的。

基本原理：将一个对微弱力极敏感的微悬臂一端固定，另一端有一微小的针尖，针尖与样品表面轻轻接触，由于针尖尖端原子与样品表面原子间存在极微弱的排斥力，通过在扫描时控制这种力的恒定，带有针尖的微悬臂将对应于针尖与样品表面原子间作用力的等位面而在垂直于样品的表面方向起伏运动。利用光学检测法或隧道电流检测法，可测得微悬臂对应于扫描各点的位置变化，从而可以获得样品表面形貌的信息。

优点

1、提供三维图像

2、不需要对样品的任何特殊处理，如镀铜或碳

3、不需要真空，在常压下甚至在液体环境下都可以良好工作

缺点

成像范围太小，速度慢，受探头的影响太大。

我们通过AFM解决过很多问题，最常见的应用就是观看表面的粗糙度，而且，利用AFM的也可以观察样品表面电势分布，同时，如果在进行微纳加工时，想要测得实际的刻蚀深度，通过AFM也可以测试到样品垂直方向的刻蚀深度。

米格实验室服务能力：

 厂家型号

  美国 Bruker Nano Inc.   ICON2-SYS

样品要求：样品高度小于15mm，表面起伏小于6mm