超声波显微镜是利用回波信号对被检测件的内部结构进行成像并对缺陷的大小和位置进行判定的设备。

设备技术特点：

1.快速三维重建可对被检测件的内部结构进行快速的三维模型重建与渲染。

2.高分辨率成像技术

利用高分辨率成像，可从超声波扫描数据中分解出更多的层析扫描信号与图像。

3.高精度自动对焦

自动对焦可生成更清晰、高对比度的图像，提高扫描成像的效果和缺陷检测的准确性。

设备参数：

1.机械性能：

X、Y轴有效行程：320 mm×320 mm

X轴最大速度：500 mm/s

Y轴最大速度：200 mm/s

X、Y轴最大加速度：0.5 g

Z轴有效行程：100 mm

X、Y轴与工作台平行度：＜50μm

重复定位精度：±1 μm

X、Y轴正交性：＜10 μm

Z轴和台面垂直度：＜10 μm

2.电器性能：

射频增益：＞100 dB

最高图像分辨率：≥32000×32000

频率范围：10 MHz – 500 MHz

扫描通道：×2

AD采样频率：≥1 GHz

AD转换精度：≥8 bit

操作温度范围：10℃-30℃

应用案例：