基本原理：白光干涉三维表面轮廓仪是利用白光干涉扫描技术为基础研制而成的用于样品表面微观形貌检测的精密仪器。

设备型号：Phase shift MicroXAM

厂家：MicroXAM-3D

技术参数：

垂直扫描范围：30 μm 、100μm、5mm、10mm

垂直扫描分辨率：0.01nm

分辨率：752×480像素（可选1k×1k ）

侧向分辨率：0.11-8.8 μm

RMS重复精度：1nm

视场范围：8mm×10mm-0.084mm×0.063mm

校正精度：＜＜0.1%

反射要求：1%-100%

功能特色：

粗糙度、磨损体积、3维形貌

应用领域：

材料、半导体、机械制造领域

服务范围：

三维表面轮廓测量和粗糙度测量，台阶高度测量，磨痕的深度、宽度和体积定量测量，空间分析和表面纹理表征，平面度和曲率测量，二维薄膜应力测量，表面质量和缺陷检测等

案例展示：