5月18日，新三板企业中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司（以下简称“中科仪”）发布关于上市辅导备案的提示性公告。

公告显示，中科仪于4月28日向辽宁证监局提交了首次公开发行股票并上市的辅导备案申请材，并已于近期收到辽宁证监局予以辅导备案登记的回执。目前公司正在接受招商证券股份有限公司的辅导，辅导期自2020年4月28日开始计算，公司已经进入首次公开发行股票并上市的辅导阶段。

资料显示，中科仪是一家专业从事真空仪器装备、真空获得设备研制生产并服务于集成电路产业及科研领域的高新技术企业，其前身中国科学院沈阳科学仪器研制中心创建于1958年。中科仪以高真空、超高真空、洁净真空技术为基础，主要研发生产各类薄膜材料制备设备、纳米材料制备设备、真空冶金设备、单晶炉、太阳能光伏设备、集成电路装备、大科学工程装备、无油真空获得及系统集成。

中科仪在此前公告中表示，经过多年在集成电路装备领域的储备和积累，公司的真空干泵技术和产品已在12英寸集成电路生产线和集成电路装备方面得到广泛应用。

2019年11月，为推动真空干泵产业化升级，中科仪宣布拟以4.13元/股，非公开定向发行不超过7264万股（含）普通股、募集资金不超过3亿元，国家集成电路产业投资基金股份有限公司以1.40亿元的总价认购了其中的3389.83万股。

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