近日，全球能源互联网研究院有限公司大功率电力电子器件中试线（“中试线”）与香港科技大学开展合作，完成了香港科技大学委托的“低离子注入激活率碳化硅器件退火激活工艺”的研发，香港科技大学对中试线的工艺水平和研发速度给予了高度评价，并与中试线签订了新的工艺研发合同。这标志着联研院中试线的运行水平和工艺研发能力得到了国际同行的认可，也标志着中试线的运行水平和工艺研发能力提升到新的阶段，对解决我国功率半导体器件领域的“卡脖子”问题，实现关键元器件的自主可控，支撑国家电网公司建设中国特色国际领先的能源互联网企业具有重要意义。

在确认香港科技大学的工艺研发需求后，中试线在联研院党委的领导下，坚持“两手抓”，一手抓疫情防控，一手抓复工复产，积极安排设备复机并开展工艺研发，克服了时间紧、任务重和人手不足的困难，迅速组织精干力量，完成了高温离子注入、高温退火工艺调试和优化，按计划高质量完成了香港科技大学委托的晶圆加工特殊工艺的研发。

联研院中试线是国内首条稳定运行并对外开放的6英寸碳化硅器件生产线，可完成6英寸碳化硅晶圆的工艺研发和器件制备，于2019年3月正式启动运行并提供对外工艺研发服务。中试线自建成投运以来，除支撑联研院自主器件研发外，已累计为20多家研发机构和企业提供了特色工艺研发服务，有力促进了我国电力电子器件的发展。

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