微纳功能器件是构成微光学、微电子、微流体、微生物支架以及超材料等微型系统的重要元件,其特有的微观形态结构使其具备了独特的光、电、磁、力、热等特性,近年来在航空航天、军事、通信、生物医疗等多种领域有着日益增长的应用需求。
技术指标:
最大工作行程: 100mm×100mm×100mm(可定制)
激光光源:100fs 80MHz 800nm(可定制)
最小位移分辨率:1nm
最小加工分辨率:100nm
特点:
1.大面积快速结构化加工
2.快速进给中三维椭圆拟静态精准曝光
关键技术: