【技术服务】米格实验室-3d打印专区-微纳结构激光双光子快速结构化加工
时间:20/07/16

微纳功能器件是构成微光学、微电子、微流体、微生物支架以及超材料等微型系统的重要元件,其特有的微观形态结构使其具备了独特的光、电、磁、力、热等特性,近年来在航空航天、军事、通信、生物医疗等多种领域有着日益增长的应用需求。

 

技术指标:

最大工作行程: 100mm×100mm×100mm(可定制)

激光光源:100fs  80MHz  800nm(可定制)

最小位移分辨率:1nm

最小加工分辨率:100nm

 

特点:

1.大面积快速结构化加工

2.快速进给中三维椭圆拟静态精准曝光

 

关键技术:

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