概述

扫描电镜可用于观测金属及金属涂层的形貌特征。BSE模式在这种情况下是非常有用的观测方式。

金属化学蚀刻

下面的图像是涂有镍和金的铜质样品，由于镍和铜 的原子序数相似，很难区分两者之间的边界。通过 化学蚀刻，如右侧图像显示，刻蚀后两层可以很容 易区分。但如果不能腐蚀，使用BSE模式观察，也 可以区分不同的两层

金属表面

金属物体做扫描电镜成像时，不需要太多特殊的样品 制 备 。 因 为 金 属 样 品 导 电 性 好 ， 所 以 不 需 要 进 行 喷 镀。如果样品表面高度一致，相似的颗粒，可能会比 较难以区分。针对这类样品, 可以使用BSE模式进行观 测。BSE模式观测样品表面及以下的原子序数差异， 所以样品中，高原子序数的颗粒很容易被鉴别出来。

背散射电子（BSE）

背散射探测器可以很方便的被集成到COXEM 扫描 电镜中。BSE成像与SE成像一样有用, 尤其是对于 原 子 衬 度 较 高 的 样 品 ， 当 采 集 其 成 分 和 形 貌 图 像 时，BSE成像更为有用。例如，对于观察染色后， 或 以 重 金 属 涂 覆 的 生 物 样 品 ， 与 使 用SE模 式 相 比，用BSE模式来检测样品中的金属，图像更具表 现力。此外，BSE模式可在高真空和低真空，两种 环境下工作。这也是BSE模式的一大特点。

合成金属纤维

样品是部分涂有铜和碳的合成金属纤维。当以高加 速电压观测样品时，由于碳的原子序数较低，所以 检测不到碳涂层。针对这一点，降低加速电压，可 观察到更多的样品表面信息。如下列左图中所示， 在低加速电压下，碳涂层很容易被观测到。