2.1颗粒检测：采用无损检测方式进行检测。

2.2表面划痕长度：采用无损检测方式进行检测。

2.3面型检测：检测衬底TTV、LTV、Bow、Warp。

2.4表面粗糙度Ra（10μm×10μm）：参考《GB/T 32189-2015氮化镓单晶衬底表面粗糙度的原子力显微镜检验法》。

2.5微管密度检测：采用无损检测方式进行检测。

2.6电阻率：导电型衬底采用涡流法非接触电阻率测试仪对衬底进行测试，半绝缘型衬底采用电容法进行非接触式测试，测量结果取平均值。

2.7直径检测：采用长爪数显游标卡尺对衬底直径进行直接测量，变换不同位置，测试5次，测量结果取平均值。

2.8螺位错密度（TSD）：采用无损检测方式进行检测。

2.9样品颗粒检测、表面划痕长度、面型检测进行刻字号背面（SI面）检测

每一项都需要出具一份报告，需要CNAS