磁控溅射
核磁共振波谱仪 NMR
EBSD
FIB制样-TEM制样
VPD ICP MS/VPD-ICP-MS/晶圆表面沾污
平整度/TTV/LTV/Wrap/Bow
M-T曲线/MH曲线/磁滞回线
TEM数据分析
掠入射XRD/GIXRD
碳化硅外延测试
低温试验
接触角测试
XRF
少子寿命-准稳态光电导法
超薄切片
TG DSC DTA 热分析法/热重
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