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以电子束为光源,在加速电压的作用下,电子束经过镜筒聚焦,在试样表面做光栅状扫描,产生各种同试样有关的物理信息(如二次电子、背散射电子等),从而获得表征试样形貌、原子序数的扫描电子图像。该设备同时配有能谱仪(EDS)和750℃原位加热台,可对样品进行元素分析和室温~750℃之间原位热处理
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