SEMI F57 用于超纯水和液态化学品输送系统的聚合物材料及组件的规范文件
用于超纯水和液态化学品输送系统的聚合物材料及组件的规范文件。标准规定了在UPW分配系统中输送超纯水(UPW)的超高纯度(UHP)聚合物材料和组件的最低性能要求。
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样品要求
确保浸出液体积大于300ml。提供浸出液接触面积。提供浸出液体积。
服务描述
1.SEMI F57测试项目
• 离子污染
• 金属离子污染
• 总有机碳
• 表面粗糙度
2.需测试的产品品类
3.规范限值要求
案列展示