兼容2-8英寸晶圆 （200*300mm）

适用于化合物晶圆片（SiC，GaO等）、蓝宝石晶圆、玻璃晶圆片、精密光学元件（平晶，棱镜，波片，透镜等）的内应力检测

适用领域

面向化合物晶圆籽晶筛选、长晶质量管控，晶圆加工工艺管控、晶圆成品质量管控等晶圆生产过程

检测原理

基于偏振光应力双折射效应检测晶圆材料内部残余应力分布。当晶体材料由于长晶环境温度梯度和晶体内部缺陷导致产生晶体内应力时，晶体会呈现出应力双折射效应，偏振光透过它时会发生偏振态调制，通过测量透射光的斯托克斯矢量可以推算出材料的应力延迟量，从而测量出材料内应力分布。

设备参数：