暂无
设备一 相关信息
设备型号:Phase shift MicroXAM
厂家:MicroXAM-3D
技术参数:
垂直扫描范围:30 μm 、100μm、5mm、10mm
垂直扫描分辨率:0.01nm
分辨率:752×480像素(可选1k×1k )
侧向分辨率:0.11-8.8 μm
RMS重复精度:1nm
视场范围:8mm×10mm-0.084mm×0.063mm
校正精度:<<0.1%
反射要求:1%-100%
功能特色:粗糙度、磨损体积、2维/3维形貌
设备二 相关信息
设备型号:Bruke Contour X500
垂直分辨率:亚纳米级
水平分辨率:小于0.38μm
放大倍数:2.75-1000倍