非接触式三维光学轮廓仪（3D Optical Profilometer） Talysurf CCI Lite
- 技术参数：
- 功能特色：
- 基本特性: 测量原理：相干相关算法（Coherence Correlation Interferometry） 垂直方向测量范围（Z）：2.2mm，拼接后可达10mm 垂直向分辨率：0.01nm（0.1 Å） 垂直方向噪音：＜0.08nm 垂直方向测量重复性：＜0.02nm 最大测量区域（X，Y）：6.6mm × 6.6mm，拼接后可达75mm ×75mm 光学分辨率（X，Y）：0.4~0.6µm（与被测面有关） 工作台尺寸：X，Y=150mm × 150mm，Z=100nm 台阶高度重复性：＜ 0.1% 测量物镜：2.5× 5× 10× 20× 50× 100× 标准平面：平面度＜ 0.2nm （RMS） 数据分析软件：Talymap （Golden版），可以分析所有的二维和三维形貌和轮廓参数
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