微纳三坐标测量机 (micro & nano CMM) F25

技术参数:
功能特色:
基本特性: 光学和触针多测头设计 测量范围:130mm×130mm×100mm 最小测头直径:100µm 接触探测力:0.5mN 示值误差:(0.25+L*/666) µm 探测误差:0.3µm 分辨力:7.5nm
样品要求:
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