电子束蒸发镀膜系统（BOC 500） AUTO BOC-500 英国 爱德华
- 技术参数：
- 采用抽速为555l/s的分子泵，60分钟内真空度可达到1×10-4Pa，最终压力可达 5×10-5Pa；为提高真空度，设置有液氮冷阱； 不锈钢高真空沉积腔体； 提供3KW电子束枪；基片旋转以提高均匀度，旋转速度20RPM-60RPM；基片采用灯加热，最高加热温度250℃；装备有薄膜厚度检测仪； 镀膜均匀度5%。
- 功能特色：
- 电子束蒸发仪可蒸发高纯与难熔材料，包括高熔点金属与非金属材料；四个可旋转坩埚，可制备多层薄膜；主要用于制备各种光学薄膜、介质薄膜与电极薄膜材料等。
- 样品要求：
- 小于4英寸。
- 应用领域：
- 收费标准：
- 价格 面议
