氦质谱检漏仪 UL1000 德国英福康

技术参数:
最小可检漏率(真空模式) <5×10-13Pa•m3/s 最小可检漏率(吸入器模式) <3×10-9 Pa•m3/s 入口压强 粗检模式 精检模式 超精检模式 15 mbar 2 mbar 0.4 mbar 在抽空过程中的抽速 25立方米/小时 入口压强对氦气抽速 粗检模式 精检模式 超精检模式 8升/秒 7升/秒 2.5升/秒 可检质量数 2、3、4amu, 氢,氦,氦
功能特色:
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