Zygo ZeGage™ 3D 光学表面轮廓仪(白光干涉仪) Zygo Plus Zygo
- 技术参数：
- ZeGage™光学轮廓仪是用于3D形貌定量测试，和精密机械表面粗糙度检测的理想非接触式检测工具。 具有5X镜头、10X镜头，可满足微米至亚纳米粗糙峰的测量
- 功能特色：
- 三维形貌、粗糙度、平坦度、孔径的测量，三维表面轮廓测量和粗糙度测量，台阶高度测量，磨痕的深度、宽度和体积定量测量，空间分析和表面纹理表征，平面度和曲率测量，二维薄膜应力测量，表面质量和缺陷检测等
- 样品要求：
- 面议
- 应用领域：
- 收费标准：
- 价格 面议
