未收藏
Si ICP刻蚀机
601E
Si ICP刻蚀机 601E Alcatel
技术参数:
功能特色:
最大刻蚀深度大于600微米;刻蚀均匀性±<2.5%;常规多步硅刻蚀速率为5 到10 μm/min,最高可达18μm/min;硅/二氧化硅刻蚀选择比:>150:1,硅/光刻胶刻蚀选择比:>50:1,侧壁与底面夹角:90°±1°
样品要求:
应用领域:
半导体微纳加工
收费标准:
价格 面议
为您推荐
康塔比表面积和孔径分布仪
Autosorb-IQ
WY-2211片式电感印刷线
高压离子色谱系统
ICS-5000
原位双轴拉压力学试验系统
IPBF
免费咨询
我要使用