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等离子去胶机
Plasma 300
等离子去胶机 Plasma 300 PVA
技术参数:
功能特色:
2.45ghz风冷微波电源(0~600w可调)/13.56mhz风冷射频电源(0~600/0~300w可调);石英/铝/陶瓷腔体;最多6路气体,mfc控制;兼容8英寸及以下晶圆;
样品要求:
应用领域:
半导体微纳加工
收费标准:
价格 面议
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