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电子束曝光机
150-Turnkey
电子束曝光机 150-Turnkey Raith
技术参数:
功能特色:
pc工控机控制,运行数据实时存储;操作分级权限管理;图形化触控屏操作,运行状态实时显示;可选配法拉第桶;可选配水冷温控装置;可选配压力控制系统;外形尺寸:775×749×781 mm / 775×723×781 mm
样品要求:
应用领域:
半导体微纳加工
收费标准:
价格 面议
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