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电子束蒸发台 Explorer 14 Denton

技术参数：
功能特色：
每一次工艺可以蒸发四种不同金属材料；Lift-off工艺一次可以蒸镀18片2"圆片；Step-coverage工艺一次可以蒸镀36片2"圆片；工艺的均匀性和重复性±5％；
样品要求：
应用领域：
半导体微纳加工
收费标准：
价格   面议

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