紫外光刻机 MA6 SUSS公司

技术参数:
最小线宽小于0.8um,光刻正胶敏感波长365nm,光刻负胶敏感波长400nm
功能特色:
转移微米/亚微米图形
样品要求:
应用领域:
收费标准:
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