热场发射高分辨扫描电子显微镜 JSM-7610F 日本电子

技术参数:
1.分辨率:1.0nm(15kV)/1.3nm(1kV) 2.加速电压:0.1KV-30kV 3.放大倍数:25-100万倍 4.样品室尺寸:最大200mm直径样品 5.束流强度:1pA到200nA
功能特色:
长寿命高亮度电子枪,寿命保3年,最大电流400nA以上 兼顾超高分辨和大电流 无漏磁和半漏磁物镜可切换 标配的五轴马达驱动全对中样品台 全自动样品更换气锁 全自动样品台监控系统 全自动物镜光阑 多通道显示系统 减速系统标准配置 能量过滤器标准配置 可以选配1.5nm高分辨LABE背散射电子探头 可以选配扫描投射探头(STEM)
样品要求:
应用领域:
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