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BG-406系列曝光机
BG-406系列曝光机
技术参数:
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应用领域:
应用于中小规模集成电路、二极管、三极管、LED、电力电子器件、MEMS和其他半导体器件制造工艺中的对准和曝光。该系列曝光机有4英寸、6英寸单/双面曝光机组成,可实现单/双面对准、单面曝光。曝光方式:软接触、硬接触、间歇曝光。
收费标准:
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