光谱型椭偏仪(Spectroscopic Ellipsometer)
UVISEL2
光谱型椭偏仪(Spectroscopic Ellipsometer) UVISEL2
- 技术参数:
- 功能特色:
- 配置及技术指标 :
光谱范围覆盖190– 2100 nm
光源: 高稳定高功率氙灯
探测系统:采用双PMT探测FUV-VIS波段和InGaAs探测NIR波段。
自动微光斑: 软件自动选择不同光斑尺寸,8种光斑尺寸可选。
XYZ自动三维样品台: 样品台水平放置,XY范围:200mm,Z范围:40mm
入射角:自动控制,从35°到90°自动连续可调。
- 样品要求:
- 应用领域:
- 收费标准:
- 价格 面议