光谱型椭偏仪(Spectroscopic Ellipsometer) UVISEL2

技术参数:
功能特色:
配置及技术指标 :  光谱范围覆盖190– 2100 nm  光源: 高稳定高功率氙灯  探测系统:采用双PMT探测FUV-VIS波段和InGaAs探测NIR波段。  自动微光斑: 软件自动选择不同光斑尺寸,8种光斑尺寸可选。  XYZ自动三维样品台: 样品台水平放置,XY范围:200mm,Z范围:40mm  入射角:自动控制,从35°到90°自动连续可调。
样品要求:
应用领域:
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