台阶仪 DektakXT 德国布鲁克

技术参数:
可 快速垂直扫描的旋转盘共焦技术。使用高数值孔径 (0.95) 以及高倍数的 (150X) 3D全视野3D镜头,用以表征坡度分析 (最大斜率<干涉测量>: 72o vs 44o) 。具有光学形貌上最高的横向分辨率,附有5百万自动分辨率的CCD相机, 空间下样可调至0.05um,是表面特征以及形貌的测量的最佳配置。
功能特色:
是集合了共焦光学形貌仪,WLI白光干涉形貌仪,原子力显微镜,接触和非接触式双模式表面形貌检测
样品要求:
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