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表面缺陷检测仪 Candela CS10V

技术参数：
1、测试晶圆范围：直径2in—6in； 2、测试晶圆厚度：350μm—1100μm； 3、灵敏度：自动检测最小尺寸 4、缺陷分类： -划痕：长100μm，宽0.1μm，深20Å； -凹坑和凸起：直径：20μm，深50Å； -污渍：直径20μm，厚度10Å； 注：缺陷信号必须3倍以上背景P-V信号
功能特色：
样品要求：
应用领域：
收费标准：
价格   面议

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