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双面对准接触式紫外光刻机(MA6) MA6 德国SUSS公司

技术参数：
曝光波长：UV400；曝光面积：100 mm（4英寸）；分辨率：≤0.8 mm；正面套刻精度：≤ ±0.5 mm；背面套刻精度：≤ ±0.5 mm；光强均匀度：100mm直径内≤±5％；曝光模式可支持硬接触、软接触、接近和真空4种模式；曝光时间范围可调：0-999.9 s。
功能特色：
适用于所有标准化的光刻应用。具备顶部和底部对准系统。
样品要求：
小于4英寸。
应用领域：
收费标准：
价格   面议

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